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1990年毕业于清华大学电子工程系半导体专业，1992年于清华大学微电子研究所获得微电子专业硕士学位，1992年后在清华大学微电子所工艺室从事研究工作，在测试、氧化扩散、光刻、工艺设备、流程管理等方面具有多年实践经验，现从事工艺分析诊断、光刻工艺设备及工艺、vlsi自动化制造和cims系统等方面的研究，在工艺流程开发、自动流程卡生成、自动工艺调度等方面发表研究论文若干

成果名称
成果编号
成果水平
发布日期

c9242
国际先进
2019-04-28

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